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無塵室的位置盡**設(shè)在人流少的地方，而且人流方向要從低沽凈度到高潔凈度的潔凈室10000級(jí)到1000級(jí)。隨著沽凈度的提高，人流密度要逐漸減少。若工藝無特殊要求，無塵室車間一般采用有密閉窗的廠房，其廠房凈高一般要求在2.5米左右。

為了布置容易產(chǎn)塵的工藝設(shè)備、凈化空調(diào)系統(tǒng)、水氣管線、緩沖室外空氣溫度、濕度和灰塵對(duì)潔凈室的影響，潔凈度高的無塵室要沿外墻設(shè)技術(shù)走廊(參觀走廊)。(技術(shù)走廊也當(dāng)做參觀走廊用)。

潔凈室的構(gòu)造盡可能密閉，門窗及穿過無塵室的管線的接縫處要嚴(yán)格進(jìn)行密封處理，而且所有的縫隙均要用硅膠進(jìn)行密封處理。

無塵室的建筑材料通常采用質(zhì)地堅(jiān)硬、*磨、不起塵的材料.其表面要光滑，容易擦拭和清洗，并具有在溫濕度變化及振動(dòng)等作用下物理、化學(xué)的穩(wěn)定性。

地面材料要具有防腐蝕性能。在南方地區(qū)一樓地板要有防水層。