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光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之無塵車間的特點

A、無塵車間潔凈度:

LCD制屏的簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。

在本設計里是指末端工藝的一些無塵車間，其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級。背光屏類無塵車間主要是這類產(chǎn)品的沖壓車間、組裝等無塵車間，其潔凈度一般為萬級或十萬級。

B、室內(nèi)空氣參數(shù)要求:

(1)溫濕度要求:溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。

(2)新風量大。由于這類車間內(nèi)，人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應取下列的**大值:非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內(nèi)排風和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保障室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。

(3)送風量大。為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級，送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬級，送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數(shù)，是≥15次/h)。

光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析

對于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設計，應根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟條件來選用哪種空調(diào)設計方案，以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗，對于要求高的可以選用組合式空氣處理機組集中處理的空調(diào)方案;對于要求不高的，又要初投資低的，可以選用柜機+FFU。，具體的方案選擇根據(jù)具體情況而定。

凈化工程中空氣凈化處理方案折疊

●凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞空氣過濾器代空氣過濾器。

●空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應符合:初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;空氣過濾器或亞空氣過濾器宜設置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端，空氣過濾的安裝方式應簡便可靠，宜檢漏和更換;中效、亞、空氣過濾器宜按額定風量選用;阻力、效率相近的空氣過濾器宜設置在同化車間內(nèi)。

●確定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時，應綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無塵室或凈化車間面積較大時，位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時，應選用管狀電加熱器，位置應布置在空氣過濾器的上風側(cè)，并應有防火安全措施。

●送風機可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風量和總阻力值進行選擇，中效、空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。

●凈化工程化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設置值班風機的系統(tǒng)外，應采取防止室外污染空氣通過新風口參入凈化車間內(nèi)的防灌倒措施。

●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設計應合理利用回風，凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求，或?qū)ζ渌ば蛴形：r，則不應用回風。